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반도체 & 디스플레이 (Semiconductor & Display)
"결함 없는 공정을 위한 최전선, 초정밀 파티클 모니터링"
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반도체 리소그래피, 에칭 등 핵심 공정 내 클린룸의 청정도를 실시간으로 감시하여 나노 단위의 오염을 방지합니다.
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초미세 입자(0.1μm 이하)까지 식별 가능한 고해상도 광학 센싱 기술을 적용하여 공정 수율을 극대화합니다.
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미세 오염으로 인한 불량률을 획기적으로 낮추어 생산성을 제고하고 고객사의 품질 경쟁력을 보장합니다.
스마트 팩토리 & 환경 (Smart Factory & Environment) 구축
"데이터 기반의 지능형 공정 관리 솔루션"
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다수의 센서 데이터를 통합 관리하고, 예측 정비가 가능한 스마트 모니터링 환경을 제공 합니다.
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효율적인 에너지 소비와 쾌적한 작업 환경을 동시에 달성함으로써 지속 가능한 산업 생태계 구축에 기여합니다.
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가혹한 제조 환경에서도 안정적인 성능을 발휘하는 내구성 높은 센서 구조를 통해 실시간 이상 징후를 포착합니다.
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