가스 공급 라인의 품질 검증 및 연속적인 공정 모니터링을 위한 최적의 솔루션으로,

별도의 디퓨저(Diffuser) 없이 라인 압력 그대로 직접 연결하여 측정할 수 있는 것이 가장 큰 특징입니다.

CO2, Ar, N2, CDA 등 다양한 고압 공정 가스를 실시간으로 직접 샘플링하며, 0.1 CFM (2.83L/min)의

안정적인 유량으로 0.1㎛에서 5.0㎛까지 총 8채널을 실시간으로 모니터링할 수 있습니다.

22.8 x 37.6 x 20.5.cm 크기의 컴팩트한 휴대용 설계(무게 8.08kg)를 통해 한 대의 장비로 여러 공정 라인을

효율적으로 관리할 수 있으며, 스테인리스 스틸(SUS304) 외장을 채택하여 내구성을 높였습니다