本产品是用于气体供应管线质量验证及连续工艺监测的最佳解决方案。其最大特点是无需额外的扩散器（Diffuser），即可直接连接管线压力进行测量。可对 CO2、Ar、N2、CDA 等多种高压工艺气体进行实时直接采样，并以 0.1 CFM (2.83 L/min) 的稳定流量，对 0.1 ㎛ 至 5.0 ㎛ 范围内的共 8 个通道进行实时监测。采用 22.8 x 37.6 x 20.5 cm 的紧凑型便携式设计（重量 8.08 kg），仅凭一台设备即可高效管理多条工艺管线；外壳采用不锈钢（SUS304）材质，进一步提升了耐用性。