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GasSens
ガス供給ラインの品質検証および連続的な工程モニタリングに最適なソリューションであり、専用のディフューザー(Diffuser)を介さず、ライン圧力を維持したまま直接接続して測定できる点が最大の特長です。
CO2、Ar、N2、CDAなど、多様な高圧プロセスガスをリアルタイムで直接サンプ링可能で、0.1 CFM(2.83 L/min)の安定した流量により、0.1 µmから5.0 µmまでの全8チャンネルをリアルタイムにモニタリングできます。
22.8 × 37.6 × 20.5 cmのコンパクトなポータブル設計(重量 8.08 kg)により、1台で複数の工程ラインを効率的に管理できるほか、外装にはステンレススチール(SUS304)を採用し、高い耐久性を確保しました。
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