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半導体・ディスプレイ（Semiconductor & Display）
「無欠陥プロセスを実現する最前線、超精密パーティクルモニタリング」
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半導体のリソグラフィやエッチングをはじめとするコア工程において、クリーンルーム内の清浄度をリアルタイムに監視し、ナノスケールの汚染を未然に防止します。
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超微粒子（0.1 µm以下）まで高精度に識別可能な高解像度光学センシング技術を適用し、プロセスの歩留まり（歩留り）を最大化します。
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微小汚染による不良率を飛躍的に低減させることで生産性を向上させ、お客様の品質競争力を確実に担保します。
スマートファクトリー・環境（Smart Factory & Environment）構築
「データドリブンなインテリジェント工程管理ソリューション」
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多数のセンサーデータを統合管理し、予知保全（予兆保全）を可能にするスマートモニタリング環境を提供します。
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効率的なエネルギー消費と快適な作業環境を両立させることで、持続可能な産業エコシステムの構築に貢献します。
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過酷な製造環境下でも安定した性能を発揮する高耐久センサー構造により、微細な異常の兆候をリアルタイムに検知します。
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